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Esferas PSL 47 nm, volume da garrafa de 50ml Esferas de látex de poliestireno

Surf-Cal, Padrões de tamanho de partícula, Volume de 50ml, Pré-misturado para 1x10E8 e 1x10E10 Concentração/ml

Padrões de Tamanho de Partícula SURF-CAL™ usados ​​na calibração de tamanho e monitoramento de Sistemas de Inspeção de Superfície por Varredura (SSIS). Os tamanhos de partícula abaixo correspondem aos tamanhos de partícula de calibração exigidos pelos fabricantes de instrumentos. Você deve concluir verificações periódicas de calibração e monitoramento semanal de tamanho e contagem para garantir que seu scanner de inspeção de wafer seja comparado com scanners em outros locais. Todas as microesferas de poliestireno são suspensas em água filtrada e deionizada em um volume de garrafa de 50mL em uma concentração de 3 × 10 E8 ou 1 × 10 E10 partículas por mL. Os tamanhos indicados com * são semelhantes às partículas NIST SRM nesse diâmetro. O índice de refração é de 1.59 @ 589nm (25C) para todas as microesferas de poliestireno abaixo. Cada garrafa é estável por 12 meses e é embalada com um Certificado de Calibração e Rastreabilidade para NIST.

Ao depositar esferas de PSL (látex de poliestireno) rastreáveis ​​SURF-CAL, NIST em silício nu e wafers padrão, você pode realizar verificações periódicas de calibração de tamanho em suas ferramentas KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS e comparar seu scanner de inspeção de wafer com scanners em outros locais. Você também pode avaliar o desempenho do seu SSIS em estágios críticos do processo de fabricação. Todos os produtos são suspensos em água filtrada deionizada (água DI) em frascos de 50 mL na concentração de 3 x10 e10 partículas/mL ou 1 x10 e10 partículas/mL. Esses padrões de tamanho de partícula Surf-Cal são microesferas de poliestireno que foram dimensionadas pelo Analisador de Mobilidade Diferencial (DMA) ou outras técnicas de exclusão de tamanho.

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Número da peça

Contagem de concentração/ml

Diâmetro de partícula

Distribuição de tamanho

 Preço por garrafa de 50 ml
APPD-047 3 x 108 partículas/mL 0.047 μm 0.004μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
APPD-047B 1 x 1010 partículas/mL 0.047 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
APPD-064 3 x 108 partículas/mL 0.064 μm 0.003μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
APPD-064B 1 x 1010 partículas/mL 0.064 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
APPD-083 3 x 108 partículas/mL 0.083 μm 0.004μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-083B 1 x 1010 partículas/mL 0.083 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-092 3 x 108 partículas/mL 0.092 μm 0.004μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-092B 1 x 1010 partículas/mL 0.092 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-100* 3 x 108 partículas/mL 0.100 μm 0.003μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-100B* 1 x 1010 partículas/mL 0.100 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-125 3 x 108 partículas/mL 0.126 μm 0.003μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-125B 1 x 1010 partículas/mL 0.126 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-155 3 x 108 partículas/mL 0.155 μm 0.003μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-155B 1 x 1010 partículas/mL 0.155 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-200 3 x 108 partículas/mL 0.202 μm 0.004μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-200B 1 x 1010 partículas/mL 0.202 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-204 3 x 108 partículas/mL 0.204 μm 0.004μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-204B 1 x 1010 partículas/mL 0.204 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-215 3 x 108 partículas/mL 0.220 μm 0.003μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-215B 1 x 1010 partículas/mL 0.220 μm 0.003μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-305 3 x 108 partículas/mL 0.304 μm 0.004μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-305B 1 x 1010 partículas/mL 0.304 μm 0.004μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-365 3 x 108 partículas/mL 0.360 μm 0.005μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-365B 1 x 1010 partículas/mL 0.360 μm 0.005μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-500 3 x 108 partículas/mL 0.498 μm 0.006μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-500B 1 x 1010 partículas/mL 0.498 μm 0.006μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-800 3 x 108 partículas/mL 0.809 μm 0.006μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-800B 1 x 1010 partículas/mL 0.809 μm 0.006μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-802 3 x 108 partículas/mL 0.802 μm 0.009μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD-802B 1 x 1010 partículas/mL 0.802 μm 0.009μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD1100 3 x 108 partículas/mL 1.112 μm 0.011μm

$ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD1100B 1 x 1010 partículas/mL 1.112 μm 0.011μm

$ 1495.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD1600 3 x 108 partículas/mL 1.59 μm 0.016μm $ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD2000 3 x 108 partículas/mL 2.01 μm 0.019μm $ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO
AP PD3000 3 x 108 partículas/mL 3.04 μm 0.026μm $ 295.00   ADICIONAR AO CARRINHO

Metodologia de Medição:

Para garantir a rastreabilidade do NIST, os diâmetros certificados desses produtos foram transferidos por transmissão eletrônica ou microscopia óptica de materiais de referência padrão do NIST (2). A incerteza foi calculada usando a nota técnica NIST 1297, edição de 1994 "Diretrizes para avaliar e expressar a incerteza dos resultados de medição do NIST" (4). A incerteza listada é a incerteza expandida com um fator de cobertura de dois (K=2). O diâmetro do pico foi calculado usando aproximadamente a faixa de ± 2s da distribuição de tamanho de partícula. A distribuição de tamanho foi calculada como o desvio padrão (SDS) de todo o pico. O Coeficiente de Variação (CV) é um desvio padrão expresso como uma porcentagem do diâmetro do pico. A distribuição FWHM (largura total na metade do máximo) foi calculada como a distribuição na metade da altura do pico expressa como uma porcentagem do diâmetro do pico.

1. "The National Technology Roadmap for Semiconductors", Associação da Indústria de Semicondutores (1999)

2. SD Duke e EB Layendecker, "Método Padrão Interno para Calibração de Tamanho de Partículas Esféricas Sub-Micron por Microscopia Eletrônica", Sociedade de Partículas Finas (1988)

3. SEMI M52 - Guia para especificação de sistemas de inspeção de superfície para pastilhas de silício da geração de tecnologia 130 nm.

4. Barry N. Taylor e Chris E. Kuyatt, "Diretrizes para avaliar e expressar a incerteza dos resultados de medição do NIST". NIST Nota Técnica 1297, edição de 1994, setembro de 1994.

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