Applied Physics Estados Unidos
Grânulos de látex de poliestireno, padrões de tamanho de partícula
Applied Physics EUA: Esferas PSL, Microesferas de Poliestireno, Padrões de Tamanho de Partícula
Applied Physics Os EUA fornecem esferas PSL e esferas de poliestireno como padrões de tamanho de partícula para calibração de instrumentos de aerossol. Ferramentas de inspeção de wafer, como KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE e Hitachi também requerem calibração de tamanho, que é realizada por meio do uso de esferas de látex de poliestireno. Esferas de PSL, microesferas de poliestireno e grânulos, são fornecidos em tamanhos de 20 nm a 10 mícrons para calibrar as curvas de resposta de tamanho dos respectivos sistemas de inspeção de wafer e contadores de partículas a laser. As esferas PSL de 20 nm a cerca de 5 mícrons são normalmente usadas para calibrar a resposta de tamanho dos contadores de partículas a laser. As microesferas de poliestireno podem ser usadas para produzir Padrões de Wafer de Calibração e Padrões de Wafer de Partículas, que são usados para calibrar a resposta de tamanho das ferramentas KLA-Tencor Surfscan e das ferramentas Tencor Surfscan mais antigas
Applied Physics Estados Unidos
Contas de látex de poliestireno podem ser encomendadas ligando para Applied Physics em (719) 428-4042.
Os Wafer Inspection Systems, conhecidos como Scanning Surface Inspection Systems, SSIS, principalmente da KLA-Tencor e Hitachi, são calibrados usando PSL Wafer Standards, que são wafers de silício primário depositados com esferas PSL em tamanhos específicos e distribuição estreita de tamanho. As ferramentas de inspeção de wafer são usadas para inspecionar a limpeza de superfícies de wafer de 300 mm, 200 mm e 150 mm; silício nu ou filme depositado, superfície de wafer. O SSIS pode identificar a localização X/Y das esferas e partículas PSL, descrever o tamanho de cada defeito, bem como resumir uma contagem geral de partículas na superfície do wafer. Os sistemas de inspeção de wafer KLA-Tencor, como Tencor 6200, 6420 e KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 e KLA-Tencor SP3, são usados em toda a indústria de semicondutores para esta aplicação. A Topcon possui os Sistemas de Inspeção de Wafer das séries 3000, 5000 e 7000. Estek, ADE, Aeronca e Hitachi também fornecem uma variedade de sistemas de inspeção de wafer. Quase todos os SSIS produzidos hoje são capazes de detectar sensibilidade de tamanho de partícula de 30 nm ou melhor. As esferas PSL são usadas para representar os padrões de tamanho de partícula na superfície do wafer. Applied Physics oferece tamanhos de esferas PSL de 20 nm a 160 mícrons para calibração de tamanho, testes de filtro HEPA, etc. As esferas PSL podem ser encomendadas ligando para Applied Physics em (719) 428-4042.
As esferas PSL são usadas com os sistemas de deposição de wafer PSL para produzir padrões de wafer PSL, também conhecidos como padrões de wafer de partículas. Em qualquer um dos casos, após a produção do PSL Wafer Standard, ele é colocado em um sistema de inspeção de wafer e digitalizado por um único SSIS a laser ou SSIS a laser duplo. A resposta do tamanho real do PSL é comparada à resposta do tamanho do SSIS. Se os dois picos não coincidirem, o SSIS deve ser calibrado. As esferas PSL pré-misturadas de alta concentração são para os sistemas 2300XP1, 2300 NPT-1, 2300NPT-2 e M2300G3.
Esferas PSL, concentração de 1%.
As esferas PSL pré-misturadas são fornecidas em um frasco 50ml, com tamanho mono-disperso (distribuição de tamanho 1) e são fornecidas com tamanho aproximado de 47nm a 950nm. Esta solução PSL é derramada diretamente no vaso nebulizador ou atomizador. A pré-mistura é uma maneira conveniente de comprar as esferas de látex de poliestireno, uma vez que toda a diluição foi realizada de maneira muito uniforme, sem confusão, sem problemas, permitindo que o usuário não lide com a mistura das esferas de látex de poliestireno usando copos, água DI e bandejas ultrassônicas. O material PSL não misturado é fornecido em um frasco 15ml, de tamanho mono-disperso (distribuição de tamanho 1) e, geralmente, em uma concentração% de 1. Essas esferas PSL são fornecidas em uma ampla variedade de tamanhos, mas para nossos propósitos, de tamanho de 20nm a 4um. O material PSL deve ser misturado até a diluição adequada ou será concentrado ou muito fraco para fornecer resultados efetivos ao tentar depositar por um dos sistemas de deposição de wafer PSL acima. Link dos Foggers CleanRoom