Surf-Cal, Padrões de Tamanho de Partículas, Volume de 50ml, Pré-misturados para Concentração de 1x10⁸ e 1x10¹⁰ / ml

Descrição

Os padrões de tamanho de partículas SURF-CAL™ são usados ​​na calibração e monitoramento de tamanho de Sistemas de Inspeção de Superfície por Varredura (SSIS). Os tamanhos de partículas abaixo correspondem aos tamanhos de partículas de calibração exigidos pelos fabricantes de instrumentos. Recomenda-se realizar verificações periódicas de calibração e monitoramento semanal de tamanho e contagem para garantir que seu scanner de inspeção de wafers esteja em conformidade com scanners em outros locais. Todas as microesferas de poliestireno estão suspensas em água deionizada e filtrada em frascos de 50 mL, com uma concentração de 3 × 10⁸ ou 1 × 10¹⁰ partículas por mL. Os tamanhos indicados com * são semelhantes às partículas do NIST SRM com o mesmo diâmetro. O índice de refração é 1.59 a 589 nm (25 °C) para todas as microesferas de poliestireno abaixo. Cada frasco é estável por 12 meses e acompanha um Certificado de Calibração e Rastreabilidade ao NIST.

Ao depositar esferas de PSL (látex de poliestireno) rastreáveis ​​pelo NIST, SURF-CAL, em wafers de silício nu e wafers padronizados, você pode realizar verificações periódicas de calibração de tamanho em suas ferramentas SSIS da KLA-Tencor, Hitachi, ADE e Topcon, e comparar seu scanner de inspeção de wafers com scanners em outros locais. Você também pode avaliar o desempenho do seu SSIS em estágios críticos do processo de fabricação. Todos os produtos são suspensos em água deionizada e filtrada (água DI) em frascos de 50 mL, com uma concentração de 3 x 10¹⁰ partículas/mL ou 1 x 10¹⁰ partículas/mL. Esses padrões de tamanho de partícula Surf-Cal são microesferas de poliestireno que foram dimensionadas por Analisador de Mobilidade Diferencial (DMA) ou outras técnicas de exclusão de tamanho.

Metodologia de Medição:

Para garantir a rastreabilidade ao NIST, os diâmetros certificados desses produtos foram transferidos por microscopia eletrônica de transmissão ou microscopia óptica a partir de materiais de referência padrão do NIST (2). A incerteza foi calculada utilizando a Nota Técnica 1297 do NIST, edição de 1994, “Diretrizes para Avaliação e Expressão da Incerteza dos Resultados de Medição do NIST” (4). A incerteza listada é a incerteza expandida com um fator de cobertura de dois (K=2). O diâmetro do pico foi calculado utilizando aproximadamente a faixa de ± 2σ da distribuição do tamanho das partículas. A distribuição do tamanho foi calculada como o desvio padrão (DP) de todo o pico. O coeficiente de variação (CV) é um desvio padrão expresso como uma porcentagem do diâmetro do pico. A distribuição da largura total à meia altura (FWHM) foi calculada como a distribuição na metade da altura do pico, expressa como uma porcentagem do diâmetro do pico.

1. “O Roteiro Tecnológico Nacional para Semicondutores”, Associação da Indústria de Semicondutores (1999)

2. SD Duke e EB Layendecker, “Método de padrão interno para calibração de tamanho de partículas esféricas submicrométricas por microscopia eletrônica”, Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 — Guia para especificação de sistemas de inspeção de superfície para wafers de silício da geração de tecnologia de 130 nm.

4. Barry N. Taylor e Chris E. Kuyatt, “Diretrizes para avaliar e expressar a incerteza dos resultados de medição do NIST”. Nota Técnica 1297 do NIST, edição de 1994, setembro de 1994.