NIST, Material de Referência Padrão, microesferas e esferas de poliestireno usadas em Padrões de Calibração e Contaminação de Wafer para verificar a precisão dimensional dos sistemas de inspeção de wafers KLA e KLA-Tencor.
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NIST, Material de Referência Padrão, microesferas e esferas de poliestireno usadas em Padrões de Calibração e Contaminação de Wafer para verificar a precisão dimensional dos sistemas de inspeção de wafers KLA e KLA-Tencor.
Os padrões de tamanho de partículas NIST SRM são padrões de calibração reconhecidos mundialmente para uso em qualquer aplicação que exija um padrão de tamanho NIST SRM (material de referência de tamanho) com dimensionamento extremamente preciso, picos de tamanho estreitos e baixo desvio padrão. Podem ser usados para a calibração e validação de diversos equipamentos de medição de tamanho de partículas, incluindo instrumentos de espalhamento de luz, microscópios eletrônicos e analisadores de mobilidade diferencial. São particularmente importantes para a calibração de sistemas de inspeção por varredura de superfície, utilizados para detectar e caracterizar defeitos em wafers de silício. Partículas de referência precisas são necessárias para o desenvolvimento e aprimoramento de sistemas de varredura para produção de wafers de alto rendimento e baixo custo, o que é crucial para a miniaturização de dispositivos. As partículas de referência também podem ser usadas para fornecer partículas monodispersas (com um único pico de tamanho) para teste de instrumentos de aerossol e são úteis para examinar a cinética de aerossóis e avaliar a resposta de detectores de partículas.
O valor certificado para o diâmetro modal é:
60 nm SRM 1964 As microesferas de poliestireno têm um diâmetro de 60.39 nm, com uma incerteza expandida de ± 0.63 nm;
100 nm SRM 1963A As microesferas de poliestireno têm um diâmetro de 101.8 nm, com uma incerteza expandida de ± 1.1 nm;
269 nm SRM 1691 As microesferas de poliestireno têm um diâmetro de 269 nm, com uma incerteza expandida de ± 4 nm;
895 nm SRM 1690 As microesferas de poliestireno têm um diâmetro de 895 nm, com uma incerteza expandida de ± 5 nm.
As medições foram realizadas utilizando análise de mobilidade diferencial e são rastreáveis ao comprimento de onda do laser He-Ne no ar, 632.807 nm, que foi determinado em relação ao padrão fundamental de comprimento.
Os diâmetros esféricos são calibrados com dimensões lineares calculadas pelo NIST. Esferas são utilizadas em vez de partículas de formato irregular para minimizar a resposta dos scanners a laser, que são sensíveis a partículas com formatos específicos. Os padrões são acondicionados como suspensões aquosas em frascos conta-gotas de 5 mililitros (mL). As concentrações de partículas são otimizadas para facilitar a dispersão e a estabilidade coloidal. As esferas possuem densidade de 1.05 g/cm³ e índice de refração de 1.59 a 589 nm, medido a 25 graus Celsius.
Cada embalagem contém um Certificado de Calibração e Rastreabilidade ao NIST, que inclui uma descrição do método de calibração e sua incerteza, além de uma tabela de propriedades químicas e físicas. Uma Ficha de Informações de Segurança de Produtos Químicos (FISPQ), com instruções de manuseio e descarte, também está disponível. Os frascos de PSL possuem número de lote para facilitar o serviço técnico e o suporte pós-venda.
| Esferas SRM do NIST | 60.4nm, 101.8nm, 269nm e 895nm |
| Composição das partículas | Esferas de látex de poliestireno (PSL) |
| Densidade de partículas | 0.625 g / cm³ |
| Índice de refração | 1.59 a 589 nm (25 °C) |
| Garrafa Tamanho | 5 mL |
| Data de validade | ≤ 24 meses |
| aditivos | Contém traços de surfactante. |
| Temperatura de armazenamento recomendada. | 2-8 ° C |
| Tamanho e volume da garrafa | Garrafa 5ml |
| Esferas PSL, NIST SRM, 60.4 nm, 101.8 nm, 269 nm, 895 nm | ||||
|
Número da peça do produto |
Diâmetro nominal |
Pico médio certificado |
Desvio Padrão e Currículo |
Conteúdo sólido |
|
AP1690 |
895 nm |
895 nm ± 5 nm |
0.7 nm |
0.50% |
|
AP1691 |
269 nm |
269 nm ± 4 nm |
5.3 nm |
0.50% |
|
AP1963A |
101.8 nm |
101.8 nm ± 1.1 nm |
0.55 nm |
0.50% |
|
AP1964 |
60.4 nm |
60.39 nm ± 0.63 nm |
0.31 nm |
0.50% |
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