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Padrões de tamanho de partícula e grânulos de microesferas de poliestireno

As esferas PSL e as esferas de látex de poliestireno são padrões de tamanho de partícula usados ​​para calibração de contadores de partículas a laser e testes de filtro HEPA.

As esferas de látex de poliestireno são padrões de tamanho de partícula rastreáveis ​​pelo NIST, dimensionados de nanômetros 20 a mícron 160; que são altamente precisos com uma distribuição de tamanho de partícula monodispersa, suspensa em uma solução de água DI com um surfactante de traço para minimizar a aglomeração. As esferas de látex de poliestireno são usadas para criar um aerossol de partículas para desafiar a precisão do tamanho dos contadores de partículas a laser ou para produzir padrões PSL Wafer.

Descrição

Contas de látex de poliestireno, esferas PSL

Esferas PSL, contas de látex de poliestireno, padrões de tamanho de partícula

Contas de látex de poliestireno

Applied Physics fornece esferas PSL e esferas de látex de poliestireno como padrões de tamanho de partícula para calibração de instrumentos de aerossol. Ferramentas de inspeção de wafer, como KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE e Hitachi também requerem calibração de tamanho, que é realizada por meio do uso de esferas de látex de poliestireno. As esferas PSL, esferas de látex de poliestireno, são fornecidas em tamanhos de 20 nm a 10 mícrons para calibrar as curvas de resposta de tamanho dos respectivos sistemas de inspeção de wafer e contadores de partículas a laser. Esferas PSL de 20 nm a cerca de 5 mícrons são normalmente usadas para calibrar a resposta de tamanho dos contadores de partículas a laser. As esferas PSL podem ser usadas para produzir padrões PSL Wafer e padrões Particle Wafer, que são usados ​​para calibrar a resposta de tamanho das ferramentas KLA-Tencor Surfscan e as ferramentas Tencor Surfscan mais antigas

Contas de látex de poliestireno podem ser encomendadas usando Visa ou Mastercard, ligue Applied Physics em (719) 428-4042.

Os Wafer Inspection Systems, conhecidos como Scanning Surface Inspection Systems, SSIS, principalmente da KLA-Tencor e Hitachi, são calibrados usando PSL Wafer Standards, que são wafers de silício primário depositados com esferas PSL em tamanhos específicos e distribuição estreita de tamanho. As ferramentas de inspeção de wafer são usadas para inspecionar a limpeza de superfícies de wafer de 300 mm, 200 mm e 150 mm; silício nu ou filme depositado, superfície de wafer. O SSIS pode identificar a localização X/Y das esferas e partículas PSL, descrever o tamanho de cada defeito, bem como resumir uma contagem geral de partículas na superfície do wafer. Os sistemas de inspeção de wafer KLA-Tencor, como Tencor 6200, 6420 e KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 e KLA-Tencor SP3, são usados ​​em toda a indústria de semicondutores para esta aplicação. A Topcon possui os sistemas de inspeção de wafer das séries 3000, 5000 e 7000. Estek, ADE, Aeronca e Hitachi também fornecem uma variedade de sistemas de inspeção de wafer. Quase todos os SSIS produzidos hoje são capazes de detectar em 30 nm ou melhor sensibilidade de tamanho de partícula. As esferas PSL são usadas para representar os padrões de tamanho de partícula na superfície do wafer. Applied Physics oferece tamanhos de esferas PSL de 20 nm a 160 mícrons para calibração de tamanho, testes de filtro HEPA, etc. As esferas PSL podem ser encomendadas ligando para Applied Physics em (719) 428-4042.

As esferas PSL são usadas com os sistemas de deposição de wafer PSL para produzir padrões de wafer de PSL, também chamados de padrões de wafer de partículas. Em qualquer um dos casos, depois que o PSL Wafer Standard é produzido, ele é colocado em um sistema de inspeção de wafer e digitalizado por um único SSIS a laser ou SSIS a laser duplo. A resposta do tamanho real do PSL é comparada à resposta do tamanho do SSIS. Se os dois picos não corresponderem, o SSIS deverá ser calibrado.

As Esferas PSL pré-misturadas e de alta concentração são para os sistemas 2300XP1, sistemas 2300 NPT-1, sistemas 2300NPT-2 e M2300G3.

Esferas PSL não misturadas, geralmente na concentração de 1%.

As esferas PSL pré-misturadas são fornecidas em um frasco 50ml, com tamanho mono-disperso (distribuição de tamanho 1) e são fornecidas com tamanho aproximado de 47nm a 950nm. Esta solução PSL é derramada diretamente no vaso nebulizador ou atomizador. A pré-mistura é uma maneira conveniente de comprar as esferas de látex de poliestireno, uma vez que toda a diluição foi realizada de maneira muito uniforme, sem confusão, sem problemas, permitindo que o usuário não lide com a mistura das esferas de látex de poliestireno usando copos, água DI e bandejas ultrassônicas. O material PSL não misturado é fornecido em um frasco 15ml, de tamanho mono-disperso (distribuição de tamanho 1) e, geralmente, em uma concentração% de 1. Essas esferas PSL são fornecidas em uma ampla variedade de tamanhos, mas para nossos propósitos, de tamanho de 20nm a 4um. O material PSL deve ser misturado até a diluição adequada ou será concentrado ou muito fraco para fornecer resultados efetivos ao tentar depositar por um dos sistemas de deposição de wafer PSL acima.

Padrões de tamanho de partícula e esferas de látex de microesferas de poliestireno de Applied Physics Inc. Padrões de tamanho de partícula e esferas de látex de poliestireno de Applied Physics Inc.

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